MEMS的全称是微型电子机械系统(Micro Electromechanical System)，利用半导体制造工艺和材料，将传感器、执行器、机械机构、信号处理和控制电路等集成于一体的微型器件或系统，其内部结构一般在微米甚至纳米量级。MEMS主要包含两个部分：传感器和执行器。

　　MEMS传感器市场

　　2014年，全球MEMS传感器市场规模为130亿美元，据预计2015-2020年MEMS传感器市场将以13%年复合成长率增长，2020年将达到300亿美元。

　　图片来源：中国产业信息网 2017

　　其中惯性传感器市场规模30亿美元，占总体MEMS整体行业规模23%，下游应用主要为消费电子和汽车，消费电子市场中MEMS传感器的终端客户一般是智能手机和平板。汽车一般有稳定的供应商合作关系，对产品质量和供应商的资质要求高。

　　图片来源：中国产业信息网 2017

　　MEMS传感器供应链

　　MEMS产业链类似于传统半导体产业，主要包括了四大部分：前端Fabless设计环节、ODM代工晶圆厂生产环节、封装测试到下游最终应用的四大环节。

　　图片来源：中国产业信息网

　　MEMS传感器国内企业的主要分布

　　中国的设计、制造、封装测试厂商都在积极布局MEMS，已形成完整MEMS的产业链。

　　图片来源：中国产业信息网

　　长三角区域：

　　以上海、无锡、南京为中心。

　　逐渐形成包括热敏、磁敏、图像、称重、光电、温度、气敏等较为完备的传感器生产体系及产业配套。

　　珠三角区域：

　　以深圳中心城市为主。

　　由附近中小城市的外资企业组成以热敏、磁敏、超声波、称重为主的传感器产业体系。

　　东北地区：

　　以沈阳、长春、哈尔滨为主。

　　主要生产MEMS力敏传感器、气敏传感器、湿敏传感器。

　　京津区域：

　　主要以高校为主。

　　从事新型传感器的研发，在某些领域填补国内空白。北京已建立微米/纳米国家重点实验室。

　　中部地区：

　　以郑州、武汉、太原为主。

　　产学研紧密结合的模式，在PTC/NTC热敏电阻、感应式数字液位传感器和气体传感器等产业方面发展态势良好。

　　MEMS传感器全球供应商

　　全球前十名MEMS供应商：主要包括博世、意法半导体、惠普、德州仪器、佳能、InvenSense、Avago和Qorvo、楼氏电子、松下等等。

　　其中BOSCH因为其在汽车电子和消费电子的双重布局，牢牢占据着行业的第一的位置，其营收约占前五大公司合计营收的三分之一。

　　大部分MEMS行业的主要厂商是以Fabless为主，例如楼氏、HP、佳能等。同时，平行的也有IDM厂商垂直参与到整条产业链的各个环节，比如 Bosch、ST等都建有自己的晶元代工生产线。

　　图片来源：搜狐科技 2016全球前30大MEMS厂商排名

　　MEMS传感器分类

　　MEMS传感器种类很多，也有多种分类方法。按其工作原理，大致可分为MEMS物理、化学和生物传感器，其中每一种MEMS传感器又可分为很多种小类，不同的MEMS传感器可以测量不同的量，实现不同的功能。

　　图片来源：ittbank 2016

　　主要的MEMS传感器包括运动传感器、压力、麦克风、环境、光传感器等。其中运动传感器可分为陀螺仪、加速度计、磁力计。

　　1. MEMS运动传感器

　　MEMS运动传感器主要有加速度计、陀螺仪、磁力计三大类，加速度计和陀螺仪可以集成为六轴惯性传感器;磁力计和加速度计集成为电子罗盘(e-compass)，加速度计、陀螺仪和磁力计可集成为9轴传感器。

　　惯性传感器(加速度计+陀螺仪)厂家有：意法半导体(ST)、旭化成微电子(AKM )、应美盛(InvenSense)、罗伯特.博世等。

　　电子罗盘(磁力计+加速度计)厂家有：旭化成微电子(AKM )、雅马哈(Yamaha)、阿尔卑斯(Alps Electric) 、美新半导体(MEMSIC)(2016年7月被华灿光电收购)等。

　　2. MEMS麦克风

　　MEMS麦克风在消费电子、汽车、医疗等领域广泛的应用。

　　3. MSME压力传感器

　　压力传感器主要制造商：

　　GE Measurement&ControlSolutions、罗伯特·博世、欧姆龙、NXP-飞思卡尔、亚德诺半导体、菲尔斯特、香港HKST、TDK-EPC、Silicon Microstructures、Sensimed、敏芯微(MEMSensing)、华美澳通、北京青鸟元芯、中科院上海微系统所、无锡纳微电子有限公司、上海芯敏微系统技术有限公司、Consensic、盾安环境

　　4. MEMS环境传感器

　　环境传感器可细分为气体、温度和湿度传感器等。

　　国外温度传感器主要制造商：

　　博世、Hygrometrix、TI、瑞士盛思锐、欧姆龙。

　　国外湿度传感器主要制造商：

　　博世、意法半导体、MEMS Vision、瑞士盛思锐、TE Sensors。

　　国外气体传感器主要制造商：

　　博世、奥地利微电子、Cambridge CMOS Sensors、瑞士盛思锐、瑞士Micronas、美国Synkera。

　　国内气体传感器主要制造商：

　　苏州能斯达、武汉微纳传感科技、炜盛科技、森斯特(北京)电子科技有限公司(Nenvitech)、深圳市戴维莱传感技术开发有限公司、武汉四方光电科技有限公司、速丽德(Solidsense)、城市技术(CityTechnology)。

　　5. MEMS生物传感器

　　MEMS生物传感器目前处于发展初期。未来MEMS生物传感器在医学、食品工业、环境监测等领域具有广阔发展空间。

　　MEMS传感器全球代工厂

　　MEMS代工主要有两种类型：IDM厂商提供的MEMS代工，独立的代工厂提供的MEMS代工，其中独立的代工厂包括集成电路代工厂和纯MEMS代工厂。目前IDM代工处于市场领导地位。

　　台积电目前是全球最大的独立的MEMS代工厂，中芯国际、华宏宏利、上海先进半导体也有生产MEMS的能力。

　　MEMS传感器封测厂

　　目前具备MEMS封装测试能力的国际厂商主要有日月光、安靠、矽品、力成科技、华天科技、长电科技、晶方科技等厂商。