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主要特点
● 结构模块化设计，安装调试时间短。
● 界面人性化设计，操作直观简便。
● 功能平民化设计，运行维护成本低。
● 功耗绿色设计，更符合环保理念。
● 在线检测功能，世界领先。
三．主要技术指标
外形尺寸:6500×1300×1600 (长×宽×高;)
输入电源:AC 220V/50HZ，功耗：5.8KW
邦定速度： 4000 UPH;
邦定精度：±50 um;
行载片点间距：>20mm。
压缩空气：0.4MPA～0.6MPA;
真空压力：-80KPA～ -100KPA;
拾取晶圆：（Wafer）≤8英寸;
芯片规格：0.4～2.0mm;
用料带宽：30mm～370mm;
