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Advanced Energy 的4100T光纤温度计可确保先进半导体工艺的温度更准确以及更容易控制工艺流程

2021-11-24 13:45 与非网

导读:Advanced Energy 的高温计性能卓越,技术领先同业,一直获多家顶尖的半导体OEM大厂采用。

  Advanced Energy 一直致力于开发各种先进的高精度电源转换、测量和控制系统等解决方案,这方面的技术更一直领先全球。该公司宣布推出一款名为Sekidenko 4100T 的高温计。这款4100T光纤温度计采用即插即用的设计,只要轻轻一插便可取代 Advanced Energy 一直领先市场的OR4000T,而且4100T的温度测量准确度特别高,温度范围也较宽广,加上内置的多条通道可同时进行读取,让读取速度可以提升至最高水平,因此极适用于先进半导体和相关的薄膜应用。



  Advanced Energy 关键检测技术及控制系统市场营销及应用副总裁 Jeff Hebb 表示:「Advanced Energy 的高温计性能卓越,技术领先同业,一直获多家顶尖的半导体OEM大厂采用。这款4100T高温计的许多功能都比原先一直领先同业的 Advanced Energy OR4000T 有进一步的改善,新功能也很多,让我们的客户可将工艺控制能力和生产力提升至无与伦比的高水平。功能齐备的4100T是一款可轻易取代OR4000T的替代品,让我们现有的客户可以轻易为系统换代更新。此外,这款高温计也可支持EtherCAT、串行和USB通信接口。」

  由于使用4100T的用户可以同时测量多达4个不同位置的温度,因此执行多点控制功能所不能缺少的控制箱可以进一步减少,这样有助于缩小方案大小,也可节省系统成本。此外,每一通道的读取速度可以高达1kHz,因此热反应会更快,让温度可以更易受控,并确保先进应用的温度更加一致,相关的应用包括快速热处理、激光退火、原子层沉积以及其他先进的沉积技术。

  这款多通道的光纤温度计可按照特殊应用发射可配置波长,因此其准确度、可重复性和可靠性都特别高,而且读取速度也较快,适用于要求极为严格的温度测量工作。传统的热电偶和其他接触式的传感器测量方法有时并不十分适用,例如直接接触会令晶圆受损,也会产生污垢或因为受到热转移效应的影响以致出现测量误差。4100T光纤温度计可以无需接触相关物体而直接在现场测量温度,准确度在 ±1.5°C 之内。此外,4100T光纤温度计不但没有因直接接触而可能产生的问题,而且对于某些应用来说,例如,正在移动中的晶圆或正以极高温或较高变温速率(ramp rate)研磨处理中的晶圆,4100T是个理想的解决方案。