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传台积电将于2024年4月开始装备2nm晶圆厂

2023-12-18 10:07 爱集微
关键词:龙图光罩

导读:台积电将于2024年4月开始在新竹科技园的2nm晶圆厂安装设备。

根据新竹科技园负责人发表的一份声明,台积电将于2024年4月开始在新竹科技园的2nm晶圆厂安装设备。据报道称,虽然只是象征意义,但设备的搬入是晶圆厂建设的一个重要里程碑,因为装备一个晶圆厂通常需要一年的时间。对于台积电的N2工艺而言,其需要多台ASML的TwinscanNXE极紫外(EUV)光刻机,这些工具将由台积电和ASML安装,然后由前者进行验证,这更需要时间。

此前,业界消息指出,新竹宝山2nm晶圆厂初期月产能约3万片,高雄2nm晶圆厂将导入采用背面供电技术的N2P(2nm加强版)制程,初期月产能也是约3万片。

台积电曾在法说会上透露,台积电在N2研发出背面配电线路(backside power rail)解决方案,此设计最适于高性能计算(HPC)相关应用。在基线技术之上,背面线路将使速度提升10%至12%,逻辑密度提升10%至15%。台积电目标是在2025年下半年向客户推出背面配电线路,并于2026年量产。